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GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦

  • 大小:1.60 MB
  • 语言:简体中文
  • 类型:其他标准
  • 下载次数:9348
  • 更新时间:10-15 14:31:36
  • 名称:
  • 应用平台:|WinXP|Win7|WinAll|
资料介绍

标准编号:GB/T 16943-2009  
简体名称:电子工业用气体 氦  
繁体名称:電子工業用氣體 氦  
英文名称:Gas for electronic industry—Helium

标准简介:
本标准规定了氦的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦,以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气,也用作载气和保护气等。


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标签: 其他标准

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