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等离子体刻蚀过程的APC技术研究进展
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- 大小：200 KB
- 语言：简体中文
- 类型：机械资料
- 下载次数：9529次
- 更新时间：10-15 21:46:49
- 名称： 等离子体刻蚀过程的APC技术研究进展
- 应用平台：|WinXP|Win7|WinAll|
- 资料介绍
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等离子体刻蚀过程的APC技术研究进展
王巍 一．
(1．重庆邮电学院光电工程系，
叶甜春 ，刘明
重庆400065；2．中国科学
， 陈大鹏
院微电子研究所， 北京100029)
摘要：先进过程控$1J(APC)是一个多层次的控制系统，其包含了实时的设备及工艺控制和非实时的RtR
控制。APC引入等离子体刻蚀过程控制可极大提高刻蚀机的使用效率。针对等离子体刻蚀过程，本文分别
从实时控制和RtR控制两个不同层次展开了论述，概述了RtR控制器中所使用的线性回归模型和神经网络模
型。最后，讨论了APC 技术的发展趋势。
关键词：等离子体刻蚀；先进过程控制； 实时控制；流程与流程控制 本站免费提供《等离子体刻蚀过程的APC技术研究进展》下载，我们己经对《等离子体刻蚀过程的APC技术研究进展》进行全面的整理检查，以保证您安全的下载《等离子体刻蚀过程的APC技术研究进展》，如果下载的压缩文件需要密码那就是本站的网址 http://www.xiaozhibei.com，等离子体刻蚀过程的APC技术研究进展的文件大小为200 KB，本站还有大量关于机械资料,机械资料方面的资源提供下载哦，可以多找找。为下次能方便快速的找到本站，记得收藏我们的网址（http://www.xiaozhibei.com）哦！ -
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